油擴散噴射泵又稱油增壓泵，它是由油擴散泵發展而來的。油擴散噴射泵的工作壓力范圍為10~10-2Pa，在此工作壓力范圍內油擴

散噴射泵有較高的抽速和最大出口壓力。通常油擴散噴射泵要比油擴散泵的抽氣量高4-20倍，加熱功率高2-5倍。按其工作壓力范

圍來說，油擴散噴射泵正好填補了油封式機械泵和高真空油擴散泵抽氣能力下降的中間地帶。油封式機械泵的抽速在低壓力范圍

內有明顯的降低，在10-1Pa時實際上抽速為零；而大多數的高真空油擴散泵在這樣的壓力范圍內抽速也較小。然而在1-10-1Pa的

工作壓力范圍內，油擴散噴射泵恰好有較大的抽速。因此，油擴散噴射泵除用作主泵外，還可以用到大型油擴散泵的出口處，來

增加其出口壓力，使前級機械泵能有效地工作，故稱其為油增壓泵。油擴散噴射泵與油擴散泵相比，不同點僅在于性能曲線的有

效工作范圍不同而已。雖然兩者的結構和應用有所不同，但抽氣的基本原理沒有多大的區別。油擴散噴射泵的外殼（泵體和鍋爐

）是用碳鋼制造的。噴嘴導流系統的零件多用鋁來制造。水冷卻系統，小型泵用螺旋管焊在泵殼上；大型泵則大多數采用水冷套

型式，以達到好的冷卻效果。泵的加熱器有兩種型式：一種是裸露式的，另一種是封閉式的。

油擴散噴射泵目前廣泛用于真空感應爐和真空電弧爐、電容器的真空干燥、真空蒸餾等設備上。